Общество с ограниченной ответственностью
"Техцентр-Метрология"
ООО "Техцентр-М"
ИНН 7810773548 КПП 781001001 ОГРН 1197847182609
196084, город Санкт-Петербург, Московский проспект, дом 66 литер б, помещение 2н
8(812)209-02-10
info@teh-m.ru
"Техцентр-Метрология"
ООО "Техцентр-М"
ИНН 7810773548 КПП 781001001 ОГРН 1197847182609
196084, город Санкт-Петербург, Московский проспект, дом 66 литер б, помещение 2н
8(812)209-02-10
info@teh-m.ru
ООО "Техцентр-М"
Санкт-Петербург
8(812)209-02-10
info@teh-m.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-02-10
info@teh-m.ru
Номер госреестра:
41676-09
Наименование СИ:
Меры периода линейные
Обозначение типа:
TDG01
Производитель:
ЗАО "Нанотехнология МДТ", г.Москва
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
12.11.2019
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-02-10, info@teh-m.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 36631
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 3
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Меры периода линейные TDG01
Назначение средства измерений
Меры периода линейные TDG01 (далее – меры) относятся к классу мер рельефных
нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера единицы длины в
диапазоне от 10
-9
до 10
-4
м и поверки (калибровки) оптических ближнего поля, растровых
электронных, сканирующих атомно-силовых микроскопов и других средств измерений
малой длины.
Описание средства измерений
Меры представляет собой совокупность совокупность протяженных шаговых
структур на поверхности халькогенидного стекла с внешним диаметральным размером
12,5 мм и диаметральным размером рабочей области – 9 мм. Мера состоит из одинаковых
шаговых структур с синусоидальной (в разрезе) геометрической формой элемента рельефа.
Внешний меры представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Внешний вид меры периода линейно-угловой TDG01.
Метрологические и технические характеристики
приведены в таблице 1.
Наименование
± 0,001
± 0,03
Номинальное значение периода структуры меры, мкм
Таблица 1
Значение
0,278
Допускаемое отклонение от номинального значения шага шаговой
структуры, не более, мкм
Плотность периодической структуры меры, периодов/мм
3600
Пределы допускаемой относительной погрешности при формировании
периодической структуры не более, %
Максимальная высота профиля меры не более, нм
60
Лист № 2
Всего листов 3
Условия эксплуатации:
а) При работе на воздухе
- температура окружающего воздуха, °С
- относительная влажность, %
- атмосферное давление, Па
б) При работе в вакуумных условиях
- диапазон значений остаточного давления в камере образцов
микроскопа, Па
- температура держателя образца,
о
С
20 ± 3
65 ± 15
(100 ±4)·10
3
от 1·10
-4
до
270
20 ± 3
Масса меры не более, г
10
Габаритные размеры меры (диаметр × толщина), мм
12,5×2,5
Размеры рабочей области меры (диаметр), мм
9,0
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист паспорта и на футляр.
Комплектность средства измерений
Мера TDG01- 1шт.;
Специальный футляр - 1 шт.;
Руководство по эксплуатации (паспорт)- 1шт.
Поверка
осуществляется в соответствии с методикой, изложенной в разделе 4 Руководства по
эксплуатации 3932-010-40349675-2009 РЭ и согласованной ФГУП «ВНИИМС 06.08.2009 г.
Основное средство поверки: микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой
Solver Pro (Госреестр № 28666-10).
Сведения о методиках (методах) измерений
Меры периода линейно-угловые TDG01. Руководство по эксплуатации.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к мерам
периода линейно-угловым TDG01
Технические условия 3932-010-40349675-2009 ТУ и руководство по эксплуатации
(паспорт) 3932-010-40349675-2009 РЭ.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования
обеспечения единства измерений
- при выполнении работ по оценке соответствия продукции и иных объектов
обязательным требованиям в соответствии с законодательством Российской Федерации о
техническом регулировании.
Изготовитель
Закрытое акционерное общество «Нанотехнология МДТ» (ЗАО «НТ-МДТ»)
Адрес: 124482, Москва, Зеленоград, корп.100, E-mail:
, Телефон: 499-735-03-05,
Факс: 499-735-64-10
Лист № 3
Всего листов 3
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-
исследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66;
E-mail:
,
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМС» по проведению испытаний средств измерений в
целях утверждения типа № 30004-13 от 26.07.2013 г.
Заместитель
Руководителя Федерального агентства
по техническому регулированию и метрологииФ.В. Булыгин
«____» ____________ 2014 г.
М.п.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 17808-98 | Меры (катушки) напряженности постоянного магнитного поля | М-113 | ТОО "Микроакустика", г.Екатеринбург | 1 год | Перейти |
| 47547-11 | Меры кислотности | МpH-1,2 | ФГУП "ВНИИ физико-технических и радиотехнических измерений" (ВНИИФТРИ), пос.Менделеево | Первичная поверка при выпуске | Перейти |
| 66628-17 | Меры поверочные | МП-08 | ООО НПП "ЭЛМИКА", г.Москва | 1 год | Перейти |
| 2009-64 | Меры твердости | МТВ-П | Нет данных | Нет данных | Перейти |
| 52852-13 | Источники питания постоянного тока линейные | HMP2020, HMP2030, HMP4030, HMP4040 | Фирма "Rohde & Schwarz GmbH & Co. KG", Германия | 2 года | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Техцентр-Метрология"
ООО "Техцентр-М"
ИНН 7810773548 КПП 781001001 ОГРН 1197847182609
196084, город Санкт-Петербург, Московский проспект, дом 66 литер б, помещение 2н
8(812)209-02-10
info@teh-m.ru
"Техцентр-Метрология"
ООО "Техцентр-М"
ИНН 7810773548 КПП 781001001 ОГРН 1197847182609
196084, город Санкт-Петербург, Московский проспект, дом 66 литер б, помещение 2н
8(812)209-02-10
info@teh-m.ru
Поверка средств измерений
ООО "Техцентр-М"
ИНН 7810773548 КПП 781001001
ОГРН 1197847182609
196084, город Санкт-Петербург, Московский проспект, дом 66 литер б, помещение 2н
8(812)209-02-10
info@teh-m.ru
ИНН 7810773548 КПП 781001001
ОГРН 1197847182609
196084, город Санкт-Петербург, Московский проспект, дом 66 литер б, помещение 2н
8(812)209-02-10
info@teh-m.ru
Поверка средств измерений