Общество с ограниченной ответственностью
"Техцентр-Метрология"
ООО "Техцентр-М"
ИНН 7810773548 КПП 781001001 ОГРН 1197847182609
196084, город Санкт-Петербург, Московский проспект, дом 66 литер б, помещение 2н
8(812)209-02-10
info@teh-m.ru
"Техцентр-Метрология"
ООО "Техцентр-М"
ИНН 7810773548 КПП 781001001 ОГРН 1197847182609
196084, город Санкт-Петербург, Московский проспект, дом 66 литер б, помещение 2н
8(812)209-02-10
info@teh-m.ru
ООО "Техцентр-М"
Санкт-Петербург
8(812)209-02-10
info@teh-m.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-02-10
info@teh-m.ru
Микроскопы сканирующие электронные TESCAN, ГРСИ 83645-21
Номер госреестра:
83645-21
Наименование СИ:
Микроскопы сканирующие электронные
Обозначение типа:
TESCAN
Производитель:
TESCAN Brno s.r.o., Чешская Республика
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
11.11.2026
Описание типа:
Методика поверки:
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-02-10, info@teh-m.ru
×
![]()
УТВЕРЖДЕНО
приказом Федерального агентства
по техническому регулированию
и метрологии
от «11» ноября 2021 г. № 2502
Лист № 1
Регистрационный № 83645-21Всего листов 6
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскопы сканирующие электронные TESCAN
Назначение средства измерений
Микроскопы сканирующие электронные TESCAN (далее микроскопы) предназначены
для измерений размеров, формы, ориентации и других параметров нано- и микроструктур
поверхностей различных объектов.
Описание средства измерений
Принцип работы микроскопов основан на физических эффектах взаимодействия
поверхности твердого образца со сфокусированным пучком электронов. Изображение объекта
формируется в результате развертки (сканирования) электронного пучка по области образца.
Максимальное увеличение и разрешающая способность микроскопа зависят от типа образцов и
условий исследований.
Микроскопы состоят из электронной колонны, вакуумной системы, управляющей
электроники, набора детекторов, форвакуумного насоса и стола оператора с персональным
компьютером.
Управляющая электроника обеспечивает функционирование всех частей прибора, а
также получение информации с детекторов различных видов. Детекторы позволяют получать
информацию о топографии, вариациях состава, механических, электрофизических и других
параметрах. На микроскопах могут быть установлены: детектор вторичных электронов
(внутрикамерный, встроенный в объективную линзу, для работы в режиме низкого вакуума),
детектор обратно отражённых (внутрикамерный, встроенный в объективную линзу), детектор
прошедших электронов, детектор катодолюминесцентного излучения, детектор вторичных
ионов, а также других специализированных детекторов.
К блоку с колонной присоединяется форвакуумный насос для откачки вакуумной
системы микроскопа. Стол оператора служит как для размещения органов управления
микроскопом (трекбол, клавиатура, мышь, монитор), так и используется для подготовки
образцов перед исследованием. Остальные элементы, обеспечивающие функционирование
прибора интегрированы в блок электроники и пространство под камерой микроскопа.
Исследуемые образцы устанавливают в вакуумную камеру с помощью разнообразных
держателей. Один из возможныхстандартныхдержателей выполнен ввидедиска диаметром 12.5
мм с ножкой для фиксации диаметром 3.0 мм.
Для повышения производительности и удобства работы к микроскопам может
подключаться выносная панель с ручками, предназначенная для быстрого изменения и контроля
основных параметров.
Дополнительно возможна установка на микроскоп следующих аналитических систем и
дополнений: система энергодисперсионного микроанализа, система волнодисперсионного
микроанализа, система определения фазового состава, структуры и текстуры методом анализа
картин дифракции обратно отраженных электронов, а также других специализированных
решений.
Лист № 2
Всего листов 6
Микроскопы сканирующие электронные TESCAN изготавливаются следующих
модификаций VEGA, MIRA, TIMA, CLARA, AMBER, AMBER X, MAGNA, SOLARIS,
SOLARIS X. В зависимости от типоразмера камеры образцов микроскопы перечисленных
модификаций, имеют дополнительные обозначения – Compact, LM и GM. Дополнительно к
обозначению типоразмера камеры образцов добавляются буквы английского алфавита (S, H, U),
например, VEGA LMS, MIRA GMU, CLARA LMH, обозначающие возможные режимы работы
вакуумной системы.
Указанные микроскопы сканирующие электронные перечисленных модификаций,
имеют дополнительную цифробуквенную кодировку двух видов «SXXXX» и «SXXXXX», где
X – любая цифра или буква английского алфавита. Заводские номера наносятся на заднюю часть
корпуса микроскопов в виде этикетки (шильдика) и имеют буквенно-цифровое обозначение.
Конструкция микроскопов обеспечивает ограничение доступа к составным частям с
целью предотвращения несанкционированных настроек (регулировок), которые могут привести
к искажению результатов измерений, поэтому пломбирование корпуса микроскопов от
несанкционированного доступа не предусмотрено.
Общий вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN приведен на рисунке 1.
в)г)
а)б)
Лист № 3
Всего листов 6
Рисунок 1 – внешний вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN
а) VEGA; б) MIRA; в) TIMA; г) CLARA; е) AMBER, AMBER X; ж) MAGNA;
з) SOLARIS, SOLARIS X
Программное обеспечение
Микроскопыоснащеныпрограммнымобеспечением(ПО)«TescanEssence».
Вычислительные алгоритмы ПО расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и
не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и не
позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО микроскопов
Идентификационные данные (признаки)
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже
Цифровой идентификатор ПО
Значение
Tescan Essence
1.0.0.0
-
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или
изменения метрологически значимых функций отсутствуют, что исключает влияние ПО на
метрологические характеристики микроскопов.
Защита программного обеспечения микроскопов соответствует уровню «средний» в
соответствии с Р 50.2.077-2014.
е)ж)
з)
Лист № 4
Всего листов 6
Метрологические и технические характеристики
±3
Таблица 2 – Метрологические характеристики микроскопов
Наименование характеристики
Модификация
VEGA, MIRA,
TIMA
Значение
CLARA,
AMBER,
AMBER X
MAGNA,
SOLARIS,
SOLARIS X
от 0,0003 до 10
Диапазон измерений линейных
размеров в плоскости XY, мм
Пределы допускаемой относительной
погрешности, %
Максимальная высота образца, мм:
- со столиком вращения
- без столика вращения
Диапазон наклона столика образцов,
градусы
от 0 до 360
Увеличение, крат
Таблица 3 - Технические характеристики микроскопов
Наименование характеристики
VEGA
Модификация
Compact LM GM
Разрешение, нм, не более 3
Значение
MIRA TIMA CLARA
LM GM LM GM LM GM
1,20,9
54 106 54 106 54 106 49 95
81 147 81 147 81 147 76 136
от от от от от от от от
-80 -60 -80 -60 -80 -60 -80 -60
до до до до до до до до
+80 +90 +80 +90 +80 +90 +80 +90
80130801307813080130
60130601306013060130
50100501003110049 95
230±23
50±2,5
3000 3000 3000 3000
1500 1500 1500 1500
2000 2000 2000 2000
500 600 700 800
Перемещение столика образцов, мм,
не менее:
- по оси X
- по оси Y
- по оси Z
Диапазон вращения столика
образцов, градусы
Параметры электрического
питания:
- напряжение переменного тока, В
- частота переменного тока, Гц
Габаритные размеры, мм, не более
- длина
- ширина
- высота
Масса, кг, не более
Условия эксплуатации:
- температура окружающей
среды, ºС
- относительная влажность, %
от +17 до +28от +17 до +24
до 65до 65
от 2 до
Давление в камере, Па, не более
От 2 до 1 000 000
2 000 000
1×10
-2
Лист № 5
Всего листов 6
Модификация
Максимальная высота образца, мм:
- со столиком вращения
- без столика вращения
Диапазон наклона столика образцов,
градусы
от
-60 до +90
от 0 до 360
от +17 до +24
Увеличение, крат
от 4 до 2 000 000
Продолжение таблицы 3
Наименование характеристики
Разрешение, нм, не более
Значение
AMBER,MAGNA
AMBER XLMGM
0,9 0,6
SOLARIS,
SOLARIS X
0,6
90
132
+80+90
от
459090
72 131 132
отот
-80 до-60 до
-
60 до +90
130
130
90
80130130
60130130
45 90 90
230±23
50±2,5
3000
1500
2000
1100
3000 3000
1500 1500
2000 2000
800 1100
Перемещение столика образцов, мм, не
менее:
- по оси X
- по оси Y
- по оси Z
Диапазон вращения столика образцов,
градусы
Параметры электрического питания:
- напряжение переменного тока, В
- частота переменного тока, Гц
Габаритные размеры, мм, не более
- длина
- ширина
- высота
Масса, кг, не более
Условия эксплуатации:
- температура окружающей
среды, ºС
- относительная влажность, %
до 65
от 2 до
2 000 000
Давление в камере, Па, не более
1×10
-2
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Обозначение
TESCAN
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
Наименование
Микроскоп сканирующий электронный
Компьютер с ПО
Руководство по эксплуатации
Количество
1 шт.
1 шт.
1 экз.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в разделе «Измерения» руководств по эксплуатации.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам
сканирующим электронным TESCAN
Техническая документация TESCAN Brno s.r.o., Чехия
Лист № 6
Всего листов 6
Изготовитель
TESCAN Brno s.r.o., Чешская Республика
Адрес: Чешская Республика, 623 00, Brno, Libusina trida, 1
Тел./факс: +420 530 353 211/415
Web-сайт: www.tescan.com
E-mail: info@tescan.com
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-
исследовательский институт метрологической службы»
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Тел.: +7 (495) 437-55-77, факс: +7 (495) 437-56-66
E-mail:
web-сайт: www.vniims.ru
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМС» по проведению испытаний средств
измерений в целях утверждения типа № 30004-13 от 29.03.2018 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 14807-06 | Весы крановые электронные | NC, Caston-I, Caston-II, Caston-III | Фирма "CAS Corporation Ltd.", Корея | 1 год | Перейти |
| 13607-93 | Весы электронные настольные универсальные | ВНУ-2/15 | ООО "Мера", г.Москва | 1 год | Перейти |
| 36123-07 | Весы электронные | HL | Фирма "A&D Company Ltd.", Япония | 1 год | Перейти |
| 29055-05 | Весы электронные | PW-200 | Фирма "ACOM Inc.", Корея | 1 год | Перейти |
| 57916-14 | Весы стационарные электронные | Datalogic Magellan 9800i | Компания "Datalogic ADC, Inc.", США | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Техцентр-Метрология"
ООО "Техцентр-М"
ИНН 7810773548 КПП 781001001 ОГРН 1197847182609
196084, город Санкт-Петербург, Московский проспект, дом 66 литер б, помещение 2н
8(812)209-02-10
info@teh-m.ru
"Техцентр-Метрология"
ООО "Техцентр-М"
ИНН 7810773548 КПП 781001001 ОГРН 1197847182609
196084, город Санкт-Петербург, Московский проспект, дом 66 литер б, помещение 2н
8(812)209-02-10
info@teh-m.ru
Поверка средств измерений
ООО "Техцентр-М"
ИНН 7810773548 КПП 781001001
ОГРН 1197847182609
196084, город Санкт-Петербург, Московский проспект, дом 66 литер б, помещение 2н
8(812)209-02-10
info@teh-m.ru
ИНН 7810773548 КПП 781001001
ОГРН 1197847182609
196084, город Санкт-Петербург, Московский проспект, дом 66 литер б, помещение 2н
8(812)209-02-10
info@teh-m.ru
Поверка средств измерений